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真空泵機(jī)組是由多個真空泵組成的系統(tǒng)。它通常包括一個主泵和一個或多個輔助泵。主泵是用來抽取大量氣體的泵，而輔助泵則是用來抽取低壓氣體和幫助主泵達(dá)到更高真空度的泵。這種多泵組合的設(shè)計，可以使得真空泵機(jī)組在抽取氣體的效率和真空度方面都比單一泵更為出色。
  真空泵機(jī)組的工作原理基于熱力學(xué)原理、氣體動力學(xué)原理、物理學(xué)原理。
（1）根據(jù)熱力學(xué)原理，氣體的壓力與體積成反比，當(dāng)氣體壓力降低時，體積會增大。因此，將容器內(nèi)部的氣體壓力降低到低于大氣壓的狀態(tài)時，氣體分子之間的碰撞頻率減少，氣體分子的平均自由程增大，氣體體積增大，最終形成真空狀態(tài)。
 
（2）氣體動力學(xué)原理指出，氣體分子在容器內(nèi)部運動時，會與容器內(nèi)部表面發(fā)生碰撞，產(chǎn)生反彈和散射。當(dāng)氣體分子的平均自由程大于容器的線度時，氣體分子的運動就不再受到容器內(nèi)部表面的影響，而是受到氣體分子之間的碰撞影響。因此，將容器內(nèi)部的氣體壓力降低到一定程度時，氣體分子之間的碰撞頻率減少，氣體分子的平均自由程增大，最終形成真空狀態(tài)。

   （3）真空泵機(jī)組可以利用物理原理將容器內(nèi)部的氣體抽出。例如，機(jī)械泵是利用機(jī)械運動將氣體抽出，分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將氣體抽出，離心泵是利用離心力將氣體抽出，根據(jù)不同的原理可以選擇不同的真空泵機(jī)組。
 
總之，真空泵機(jī)組的工作原理基于熱力學(xué)、氣體動力學(xué)和物理原理。通過降低容器內(nèi)部的氣體壓力，減少氣體分子之間的碰撞頻率和增大氣體分子的平均自由程，最終形成真空狀態(tài)。真空泵機(jī)組在半導(dǎo)體、光學(xué)、電子、化工、醫(yī)療、航天等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，是現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的設(shè)備之一。