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干式螺桿真空泵主要采用一對螺桿，其特點是兩個螺桿由精細動平衡校正，軸承支撐，安裝在泵殼內(nèi)，螺桿與螺桿之間有一定間隙，這樣就制成了干式螺桿真空泵。工作時，彼此之間沒有摩擦，操作穩(wěn)定，噪音低，工作室不需要潤滑油，干式螺桿泵可以去除含有大量水蒸氣和少量的氣體灰塵，極端真空度更高。但是，中國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。

干式螺桿真空泵，使用一對螺桿在泵殼內(nèi)進行吸入和排出動作，實現(xiàn)同步高速反向旋轉(zhuǎn)。它的優(yōu)點彌補了缺少油封真空泵的問題，我們都稱之為升級版的油封真空泵。然而，干式螺桿真空泵的成本也是其缺點，然后主要介紹其優(yōu)缺點。

干式螺桿真空泵的優(yōu)點
1.工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子表面均有防腐涂層，可適應惡劣的工作環(huán)境
2，氣體不在泵內(nèi)壓縮，適用于提取可冷凝氣體
3，無油耗，無滴水
4.結(jié)構(gòu)簡單，維護方便。
5，泵送氣體直接從泵體排出，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更方便。

干式螺桿真空泵的缺點
1.由于螺桿泵的加工困難，我國使用的螺桿泵主要依賴進口，價格非常昂貴。
2.不適合抽吸爆炸性氣體。
3.它不適合去除含氧氣體。

隨著中國工業(yè)界的發(fā)展，在半導體工業(yè)，液晶顯示器等工藝制造中，對潔凈真空環(huán)境的要求越來越高，傳統(tǒng)的油真空泵還沒有達到這樣的要求。螺桿式干式真空泵因其抽速范圍廣，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，泵腔部件無摩擦，壽命長，能耗低，無油污等特點，廣泛應用于制造和應用單元。真空泵市場起著重要作用。在歐洲，美國和日本等發(fā)達國家，螺桿式干式真空泵在許多領域越來越多地取代傳統(tǒng)的充油泵。